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【2h】

Vibrating micromechanical resonators with solid dielectric capacitive-transducer ‘gaps

机译：带有固态介电电容传感器“间隙”的振动微机械谐振器

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Yu-wei Lin; Sheng-shian Li; Yuan Xie; Zeying Ren; Clark T. -c. Nguyen;
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年度 2008
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